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标签:温度稳定性能好当半导体表面被加热至稳定状态时,气体接触半导体表面而被吸附,吸附的分子首先在半导体表面自由扩散,失去运动能量,一部分分子被蒸发掉,另一部分分子固定在吸附处
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